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产品详细

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产品名称: MEMS二维扫描微镜

发布日期: 2023/4/26 17:32:36

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简述:

产品详情

激光雷达(LiDAR)被认为是自动驾驶/无人驾驶不可缺少的三维视觉传感器。
  MEMS扫描微镜技术有望解决传统机械式激光雷达在成本、稳定性和量产性等方面的问题。
  希景专注研发和生产MEMS扫描微镜,并提供激光雷达核心扫描模组和发射模组。


MEMS二维扫描微镜性能参数
参数 产品一 产品二
镜面直径 5mm 5mm
快轴谐振频率 1.2K-1.3KHz 1.7K-1.8kHz
功耗30mW时,快轴谐振光学转角 30° 30°
慢轴准静态工作频率 0~60 Hz 0~60 Hz
功耗30mW时,慢轴准静态光学转角 20° 20°
慢轴谐振频率 160~180 Hz 230~250 Hz
功耗10mW时,慢轴谐振光学转角 30° 30°
镜面镀膜 金/铝 金/铝
快慢轴角度传感器 压阻传感器 压阻传感器
工作温度 -40℃~100℃ -40℃~100℃
抗冲击性能 >500m/s2 >500m/s2

备注:

(1)快轴只能做谐振扫描,慢轴可以做谐振扫描或准静态扫描
(2)快轴或者慢轴可以单独单向扫描

MEMS二维扫描微镜定制化服务

希景科技拥有丰富的MEMS微镜领域的开发经验,能够根据客户需求,提供不同镜面尺寸和谐振频率的单轴谐振型微镜,单轴准静态微镜,指向型微镜等定制化服务。大大的节省客户的开发时间。

5mm-MEMS(1.2KHz)微镜产品规格书

5mm-1.8k-s140-f200 MEMS微镜规格书

MEMS可靠性测试报告

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